• 2026年06月29日 01:32:50
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1、

In this paper, large-diameter SiC single crystal was cut by using diamond wire saw. Mechanics and cutting parameters of diamond wire saw are investigated and experimental results are presented.

采用金刚石线切割大直径的SiC单晶，研究了金刚石线锯的切割机理和切割参数，给出切割SiC单晶的实验结果。

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